Quality is life, service is the tenet
一、設備特點：
薄膜材料制備廣泛用于:真空或氣氛燒結、基片鍍膜等要求加熱溫度較高的實驗環境。該設備技術成熟、質量可靠，溫場均勻，結構合理，法蘭以卡箍密封，安裝拆卸簡便快捷，是各大材料實驗室的理想設備之一。
1、保溫材料采用真空吸附成型的純氧化鋁纖維無機材料，不含污物，潔凈，美觀。
2、采用模糊PID控制精準控制，溫場均勻，燒結成品一致性好。
3、爐體采用雙層風冷機構，爐子燒到最高溫度時，殼體表面溫度低于60度。
4、爐膛材料：高純氧化鋁多晶純纖維，不參氧化鋁粉，潔凈節能。
二、技術參數：
| 名稱 | 規格 | 單溫區真空管式爐CVD系統 |
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單溫區真空管式爐 | 爐管尺寸 | Φ60×1000mm 更多其他規格剛玉管可選（Φ50/60/80/100mm等） |
| 主要參數 | 最高溫度: 1400℃ 工作溫度: 1300℃ 推薦升溫速率:≤10℃/min 加熱區長度: 300mm 額定功率：4KW 電壓：單相AC 208 - 240V, 50Hz | |
| 爐體結構 | 雙層空氣冷卻鋼殼保持爐表面溫度低于60°C 高純狀氧化鋁纖維絕緣層，最大限度節約能源 爐膛和加熱元件上的特殊耐火涂層可延長爐子的使用壽命 | |
| 溫控系統 | 模糊PID控制和自整定調節功能 智能化30段可編程控制 具有超溫及斷偶報警功能 控溫精度: ±1 ℃ S型熱電偶 可安裝PC控制軟件對數據進行實時采集（需另購） | |
| 溫控儀表（可選） | 標配儀表品牌為宇電，可選定其他品牌溫控儀表，如島電等。 | |
| 管堵 | 多種規格管堵，防止來自內部管子的熱輻射，管堵在加熱前必須放入爐腔。 | |
| 密封系統 | 爐管兩端配有不銹鋼密封法蘭。（包括精密針閥、指針式真空壓力表、軟管接頭） 如需獲得較高的真空度，建議采用不銹鋼波紋管連接及數顯真空計（需另外訂購） 備注：本公司標配法規格如下進氣端Φ6卡套接口，可連接Φ6不銹管或者聚四氟管。 出氣端預留KF25接口，方便連接真空泵，KF16接口，方便連接數顯真空計，以及Φ9氣嘴接頭，以便出氣 | |
| 擴展端口 | 如進氣管道為橡膠軟管，則需將進氣口更換成Φ9氣嘴接頭 | |
| 真空度 | 雙極旋片機械泵：10^-1Pa 分子泵機組：10^-3 Pa 可選配本公司配套高低真空 | |
| 二路質量流量控制系統 MFC-2Z | 電壓 | 220VAC 單相 50/60Hz |
| 針閥材質 | 316不銹鋼 | |
| 量程 | 50sccm、100sccm（可根據工藝要求提供多種量程選擇） | |
| 工作溫度 | 5～45℃ | |
| 外型尺寸 | 600(L) x 600(W) x 750(H) mm | |
| 電壓 | AC220V/50Hz單相 | |
| 功率 | 23W | |
| 真空系統 LVU-10 | 殼體尺寸 | 600 (L) x 600 (W) x 750(H)mm |
| 最大承載量 | 1000 Lbs | |
| 抽氣速率 | 10m³/h 極限真空度：10-1Pa 雙層立式油污過濾器(PE材質）與真空泵連接 | |
| 質保期 | 一年保修，終身技術支持。 特別提示：1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內。 | |
| 相關應用 | 爐膛內襯可以單獨更換（額外付費） 可以根據要求設計成帶有滑動法蘭的爐子 | |
| 應用注意事項 | 爐管內氣壓不可高于0.02MPa 由于氣瓶內部氣壓較高，所以向爐管內通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全 當爐體溫度高于1000℃時，爐管內不可處于真空狀態，爐管內的氣壓需和大氣壓相當，保持在常壓狀態 進入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊 石英管的長時間使用溫度＜1100℃ 對于樣品加熱的實驗，不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關注壓力表的示數，若氣壓表示數大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發生（如爐 管破裂，法蘭飛出等） | |
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